據(jù)臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)報(bào)道，大陸晶圓代工龍頭大廠中芯國(guó)際雖然計(jì)劃在深圳、上海等地進(jìn)行擴(kuò)產(chǎn)，但是今年3月中芯國(guó)際與荷蘭光刻機(jī)大廠ASML（艾司摩爾）簽約購(gòu)買用于成熟制程所需的深紫外光（DUV）光刻機(jī)設(shè)備訂單至今仍沒(méi)有下文，隨著最后期限的臨近，恐怕這筆訂單將要跳票，使得中芯國(guó)際計(jì)劃2023年陸續(xù)開出的新產(chǎn)能也變得岌岌可危。

去年9月底，中芯國(guó)際就遭美國(guó)進(jìn)行出口管制，隨后又于2020年12月遭美國(guó)商務(wù)部列入實(shí)體清單，并明確禁止美國(guó)設(shè)備廠商向中芯國(guó)際出口可用于10nm以下先進(jìn)制程的設(shè)備，導(dǎo)致中芯國(guó)際采購(gòu)美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備受限，同時(shí)部分基于美國(guó)技術(shù)的非美系半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)似乎也受到了進(jìn)一步限制。

今年3月1日，業(yè)內(nèi)傳出消息稱，中芯國(guó)際已獲得部分美國(guó)設(shè)備廠商供應(yīng)14nm及以上成熟制程設(shè)備的供應(yīng)許可，并且中芯國(guó)際之前一直有申請(qǐng)但未獲通過(guò)的一類關(guān)鍵設(shè)備（用于14nm），此次也獲得了通過(guò)。

隨后在今年3月3日晚間，中芯國(guó)際通過(guò)港交所發(fā)布公告，宣布公司已于2021年2月1日，就購(gòu)買用于生產(chǎn)晶圓的ASML產(chǎn)品與ASML上海公司簽訂了經(jīng)修訂和重述的采購(gòu)協(xié)議，根據(jù)購(gòu)買的ASML產(chǎn)品定價(jià)計(jì)算，該協(xié)議購(gòu)買ASML產(chǎn)品的總代價(jià)約為12億美元。

根據(jù)該協(xié)議，中芯國(guó)際將先行向ASML支持30%的預(yù)付款，余款將于產(chǎn)品交付時(shí)支付。從采購(gòu)金額來(lái)看，12億美金夠買幾十臺(tái)先進(jìn)的DUV光刻機(jī)，即便是當(dāng)時(shí)最貴的超過(guò)1億美金一臺(tái)的EUV光刻機(jī)，也能買個(gè)10臺(tái)。當(dāng)時(shí)外界有網(wǎng)友也以為該采購(gòu)的是包括產(chǎn)先進(jìn)制程芯片的EUV光刻機(jī)。不過(guò)中芯國(guó)際隨后澄清，這批訂單僅為DUV光刻機(jī)。

根據(jù)公告顯示，ASML批量采購(gòu)協(xié)議的期限從原來(lái)的2018年1月1日至2020年12月31日延長(zhǎng)至從2018年1月1日至2021年12月31日。并且，中芯國(guó)際根據(jù)批量采購(gòu)協(xié)議已于2020年3月16日至2021年3月2日的12個(gè)月期間就購(gòu)買用于生產(chǎn)晶圓的ASML產(chǎn)品與ASML集團(tuán)簽訂購(gòu)買單。

然而，就在中芯國(guó)際宣布與ASML達(dá)成批量設(shè)備采購(gòu)延長(zhǎng)協(xié)議之后，當(dāng)?shù)貢r(shí)間3月19日，美國(guó)共和黨眾議員麥考爾（Michael McCaul）和魯比奧（Marco Rubio）聯(lián)合致信美國(guó)商務(wù)部長(zhǎng)雷蒙多（Gina Raimondo）稱，基于中芯國(guó)際協(xié)助中國(guó)大陸追求“取代美國(guó)在全球的領(lǐng)先地位”方面發(fā)揮的作用，為保護(hù)美國(guó)的國(guó)家安全利益，要求拜登政府勸說(shuō)荷蘭政府阻止ASML出售DUV光刻機(jī)賣給中芯國(guó)際，并且還須與盟國(guó)達(dá)成協(xié)議，統(tǒng)一出口限制和許可權(quán)，限制類似DUV和EUV光刻等技術(shù)設(shè)備的出售。

根據(jù)臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)近日的報(bào)道，目前中芯國(guó)際根據(jù)該訂單向ASML購(gòu)買的DUV光刻機(jī)仍未交貨，而隨著該采購(gòu)協(xié)議最后期限2021年12月31日的臨近，恐怕這筆訂單將要跳票，從而危及中芯國(guó)際的擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃。

去年12月，中芯國(guó)際宣布攜手大基金二期和亦莊國(guó)投訂立合資合同以共同成立合資企業(yè)——中芯京城集成電路制造（北京）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中芯京城”），計(jì)劃總投資497億元，建設(shè)一座12吋晶圓廠，聚焦28nm及以上成熟制程工藝。將分兩期建設(shè)，一期項(xiàng)目建設(shè)規(guī)模約24萬(wàn)平方米，包含 FAB3P1 生產(chǎn)廠房及配套建筑、構(gòu)筑物等，計(jì)劃于2024年完工，建成后將達(dá)成每月約10萬(wàn)片12英寸晶圓產(chǎn)能。二期項(xiàng)目將根據(jù)客戶及市場(chǎng)需求適時(shí)啟動(dòng)。目前，中芯京城一期項(xiàng)目正在建設(shè)中，已于今年2月底完成打樁，預(yù)計(jì)2024年完工。

今年3月17日，中芯國(guó)際又宣布在深圳擴(kuò)產(chǎn)成熟制程，將與深圳政府（透過(guò)深圳重投集團(tuán)）（其中包括）擬以建議出資的方式經(jīng)由中芯深圳進(jìn)行項(xiàng)目發(fā)展和營(yíng)運(yùn)。依照計(jì)劃，項(xiàng)目的新投資額估計(jì)為23.5億美元，中芯國(guó)際將通過(guò)子公司中芯深圳開展新項(xiàng)目的發(fā)展和營(yíng)運(yùn)，重點(diǎn)生產(chǎn)28nm及以上的集成電路和提供技術(shù)服務(wù)，旨在實(shí)現(xiàn)最終每月約40000片12吋晶圓的產(chǎn)能。預(yù)期將于2022年開始生產(chǎn)。

今年9月3日，中芯國(guó)際又發(fā)布公告，宣布已與中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)管理委員會(huì)（以下簡(jiǎn)稱臨港管委會(huì)）簽署合作框架協(xié)議，將在上海臨港自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)（以下簡(jiǎn)稱“臨港自貿(mào)區(qū)”）共同成立合資公司，投資88.7億美元興建一座月產(chǎn)能10萬(wàn)片的12吋晶圓廠，主要聚焦于提供28nm及以上技術(shù)節(jié)點(diǎn)的集成電路晶圓代工與技術(shù)服務(wù)。

以上三個(gè)擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目，擴(kuò)產(chǎn)總產(chǎn)能高達(dá)每月24萬(wàn)片12吋晶圓。雖然目前這些擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目還處于進(jìn)行基建，或還在規(guī)劃當(dāng)中，但是要順利按時(shí)按規(guī)劃產(chǎn)能量產(chǎn)，就需要采購(gòu)足夠多的半導(dǎo)體設(shè)備，并按規(guī)劃時(shí)間進(jìn)行交付和安裝。

如果晶圓制造的關(guān)鍵設(shè)備——ASML的DUV光刻機(jī)的交付受限，無(wú)疑將嚴(yán)重影響中芯國(guó)際的擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃。

值得注意的是，據(jù)澎湃新聞報(bào)道，在近日召開的第四屆中國(guó)國(guó)際進(jìn)口博覽會(huì)上，ASML全球副總裁、中國(guó)區(qū)總裁沈波表示，目前ASML EUV光刻機(jī)確實(shí)無(wú)法對(duì)中國(guó)（大陸）客戶供貨外。

早在2018年5月，中芯國(guó)際就向ASML訂購(gòu)了一臺(tái)最新型的EUV光刻機(jī)，當(dāng)時(shí)價(jià)值高達(dá)1.5億美元，原計(jì)劃在2019年初交付。但是由于美國(guó)方面的阻撓，ASML一直未能收到荷蘭政府頒發(fā)新的許可證，這也導(dǎo)致了ASML一直無(wú)法向中芯國(guó)際交付EUV光刻機(jī)。

沈波表示，公司對(duì)向中國(guó)出口集成電路光刻機(jī)持開放態(tài)度，在法律法規(guī)框架下全力支持。除了EUV光刻機(jī)之外，其他產(chǎn)品都可以正常向中國(guó)（大陸）客戶發(fā)貨。從最近幾年看中國(guó)市場(chǎng)占ASML全球光刻機(jī)銷量的三成左右，在中國(guó)的裝機(jī)量已經(jīng)接近1000臺(tái)。

不過(guò)，沈波并未透露目前ASML的DUV光刻機(jī)對(duì)中芯國(guó)際的交付是否會(huì)受到美國(guó)禁令或美國(guó)政府施壓的影響。

另?yè)?jù)沈波介紹，由于缺芯導(dǎo)致的這一輪晶圓制造擴(kuò)產(chǎn)周期對(duì)ASML光刻機(jī)交貨有所影響，有的產(chǎn)品交付期較以往翻倍。目前ASML已經(jīng)在擴(kuò)大產(chǎn)能，并運(yùn)用公司的安全庫(kù)存提升交貨，但由于產(chǎn)業(yè)鏈太長(zhǎng)，因?yàn)閹浊Ъ夜?yīng)商要配套提供85%的零部件，所以暫時(shí)還沒(méi)有辦法完全滿足用戶需求。

目前還不清楚臺(tái)灣媒體報(bào)道的中芯國(guó)際向ASML訂購(gòu)DUV光刻機(jī)訂單至今仍未交付的消息是否屬實(shí)。即使該消息屬實(shí)，那么到底是因?yàn)槊绹?guó)禁令或者是美國(guó)政府的阻撓導(dǎo)致的，還是因?yàn)锳SML的DUV光刻機(jī)交期延誤造成的，也有待進(jìn)一步確認(rèn)。

但不管怎么樣，如果中芯國(guó)際訂購(gòu)的DUV光刻機(jī)真的遲遲無(wú)法交付的話，那么必然會(huì)對(duì)其后續(xù)的大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃造成嚴(yán)重不利影響。