全世界能生產(chǎn)EUV光刻機(jī)的廠商就一家,那就是荷蘭的ASML。

為何只有ASML能夠生產(chǎn)EUV光刻機(jī)?原因在于ASML綁定了好多的巨頭,且是獨(dú)家合作的,比如蔡司、比如德國(guó)TRUMPF公司,這些巨頭在極紫外線制造技術(shù),收集技術(shù)上達(dá)到極致,無可取代。

另外,ASML的股東是臺(tái)積電、英特爾、三星這些巨頭,確保ASML的EUV光刻機(jī)可與這些芯片制造大廠商們保持同步,隨時(shí)調(diào)整同步,也不愁賣。在這樣的情況下,就算其它廠商就算花巨資研發(fā)出EUV光刻機(jī)來,也不一定得到芯片廠商的購(gòu)買,可以說ASML是全球最精細(xì)工藝合作的產(chǎn)物。

而EUV光刻機(jī)自2015年以來,已經(jīng)更新了三代,分別是2015年WINSCAN NXE:3400B,每小時(shí)處理12寸晶圓125塊。

2019年推出NXE:3400C,每小時(shí)處理12寸晶圓170塊。而2021年推出NXE:3600D,每小時(shí)處理12寸晶圓180塊。

而今ASML最新一代的EUV光刻機(jī)又曝光了,這臺(tái)新的光刻機(jī)型號(hào)還未對(duì)外公布,每小時(shí)處理的晶圓數(shù)也沒有對(duì)外公布。

但這臺(tái)EUV光刻機(jī)與前三代EUV光刻機(jī)相比,使用的紫外線波長(zhǎng)會(huì)變得更低,從而盡可能縮小所制造的芯片元件尺寸(線寬),據(jù)稱其精度是直達(dá)1nm級(jí)別的,也就是說可以使用近10年,畢竟芯片跨過nm級(jí),估計(jì)10年都不一定辦得到。

而這臺(tái)EUV光刻機(jī)的造價(jià)超過1．5億美元(近10億元),而據(jù)ASML的數(shù)據(jù),目前最新的NXE:3600D的交付價(jià)格為1．45億美元(約合人民幣9．38億元),所以這種新的EUV光刻機(jī)的交付價(jià)格,肯定遠(yuǎn)大于1．5億美元。

據(jù)稱這種新的EUV光刻機(jī),體積有一輛公共汽車那么大,包含有10萬個(gè)部件和2公里長(zhǎng)的電纜,運(yùn)輸?shù)臅r(shí)候,需要40個(gè)集裝箱、3架貨機(jī)或者20輛卡車才能完成。

當(dāng)然,這種光刻機(jī)看起來很貴,但如果能夠買到,還是相當(dāng)值的,畢竟NXE:3600D就一小時(shí)能夠處理180塊晶圓了,新一代預(yù)測(cè)可超過200塊。

但同樣遺憾的是,目前ASML能夠賣給大陸廠商的只有DUV光刻機(jī),至于EUV,最最早期的那種NXE:3400B都不能賣的,我們得自力更生,所以加油吧。