ASML新EUV光刻機(jī)28億?臺(tái)積電:我不買(mǎi),不浪費(fèi)錢(qián),2nm一樣造
ASML是全球光刻機(jī)壟斷者,EUV光刻機(jī)占100%的市場(chǎng),全球只有ASML能生產(chǎn)。浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī),ASML占了90%以上的市場(chǎng)。
而整個(gè)光刻機(jī)領(lǐng)域,ASML一家占了80%以上的市場(chǎng),靠著光刻機(jī),ASML制霸全球,可以說(shuō)所有的晶圓廠(chǎng),都被ASML牽著走。
做生意當(dāng)然不能是一錘子買(mǎi)賣(mài)啊,必須持續(xù)不斷的賺錢(qián)才行,所以為了賺錢(qián), ASML的光刻機(jī),也是一代又一代的更新,每一代相比上一代,在精度、速度等上面,都會(huì)有所改進(jìn),但改進(jìn)卻又不是特別多。
這樣晶圓廠(chǎng),為了獲得更高的精度,更快的速度,更高的效率,不得不一代又一代采購(gòu)ASML的新光刻機(jī),淘汰掉舊光刻機(jī)。
其實(shí)在EUV光刻機(jī)之前,這種更新?lián)Q代,晶圓廠(chǎng)們還是能夠接受的,畢竟光刻機(jī)也不是特別貴,但到了EUV光刻機(jī)之后,就麻煩大了。
因?yàn)橐慌_(tái)EUV光刻機(jī),就是1億多美元,10臺(tái)就是10多億美元,換成人民幣,就是上百億元,如果還經(jīng)常要更新?lián)Q代,這樣的成本,沒(méi)有幾家廠(chǎng)商吃的消啊。
所以一直以來(lái),就有企業(yè)想要用舊一點(diǎn)光刻機(jī),來(lái)實(shí)現(xiàn)更高精度芯片的制造。
比如臺(tái)積電,第一代7nm工藝時(shí),用的是浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī),不采用EUV光刻機(jī)。
后來(lái)更是用舊EUV光刻機(jī),生產(chǎn)更先進(jìn)一點(diǎn)的3nm芯片技術(shù),而不是直接就從ASML那采購(gòu)更高級(jí)的EUV光刻機(jī)。
而近日,臺(tái)積電更是表示,其A16(也可以認(rèn)為是1.6nm)工藝,將在2026年量產(chǎn),而所謂的A16工藝,實(shí)際上是2nm工藝的升級(jí)版,臺(tái)積電2025年實(shí)現(xiàn)2nm,2026年實(shí)現(xiàn)A16。
同時(shí)臺(tái)積電還著重提出,A16制程工藝并不需要下一代High-NA EUV光刻系統(tǒng)的參與。
為何會(huì)著重提出這一點(diǎn),原因在于目前業(yè)界有一種聲音,那就是進(jìn)入2nm工藝,必須用到ASML最新的光刻機(jī),也就是High-NA EUV光刻機(jī)。
這種High-NA EUV光刻機(jī)對(duì)應(yīng)之前的EUV光刻機(jī),最大的區(qū)別的就是數(shù)值孔徑的變化,之前的EUV光刻機(jī)數(shù)值孔徑是0.33,而High-NA EUV提供了0.55數(shù)值孔徑。
ASML稱(chēng),之前的標(biāo)準(zhǔn)EUV光刻機(jī)可以打印13.5nm的線(xiàn)寬,而High-NA EUV光刻機(jī)可打印8nm線(xiàn)寬,所以生產(chǎn)2nm芯片時(shí),效果更好。
另外ASML還稱(chēng),新EUV光刻機(jī)處理晶圓的速度提升了100%至150%,從原來(lái)的每小時(shí)200片晶圓,提升到每小時(shí)400至500片晶圓。
不過(guò),這樣的光刻機(jī)好是好,價(jià)格可不便宜,設(shè)備的價(jià)格約在3.85億美元(約28億元人民幣)起步。
臺(tái)積電目前擁有標(biāo)準(zhǔn)的0.33數(shù)值孔徑的光刻機(jī)上百臺(tái),如果全部換成這種新的,成本高達(dá)400億美元,臺(tái)積電當(dāng)然不想換,成本完全背不起啊。
所以,臺(tái)積電的計(jì)劃是,不管你ASML怎么升級(jí),反正我不變,我用舊的EUV光刻機(jī),也要生產(chǎn)出2nm,甚至升級(jí)版A16(1.6nm)的芯片出來(lái)。
這對(duì)于ASML而言,就有點(diǎn)麻煩了,一旦新EUV光刻機(jī),得不到臺(tái)積電這樣的巨頭支持,那賣(mài)給誰(shuí)呢?因?yàn)橐坏┡_(tái)積電這么干,三星、intel只怕也會(huì)學(xué),那ASML一直以來(lái),靠著不斷升級(jí)來(lái)維持的營(yíng)收增長(zhǎng),怎么實(shí)現(xiàn)了?
