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國產(chǎn)光刻機(jī),究竟發(fā)展到哪一步了?90nm,還是7nm?

2023-11-27 來源:科技專家
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關(guān)鍵詞: 芯片 光刻機(jī) 硅片

眾所周知,在芯片制造過程中,光刻機(jī)是最重要,也是成本最高的設(shè)備之一,同時(shí)光刻工藝也是最復(fù)雜,難度最大,耗時(shí)最長的工藝。


同時(shí),國產(chǎn)光刻機(jī)相對于國際領(lǐng)先水平而言,確實(shí)也落后很多,于是很多人一直心中有疑問,那就是國產(chǎn)光刻機(jī),究竟發(fā)展到哪一步了?今天就和大家談?wù)勥@個(gè)問題。



我們通常所說的光刻機(jī),其實(shí)有兩種。


一種是前道光刻機(jī),用于芯片制造的光刻機(jī),采用曝光工藝,將芯片設(shè)計(jì)電路圖,投射到硅片上。


還有一種是后道光刻機(jī),用于芯片制造完成后的封裝用光刻機(jī)。


我們先不說前道光刻機(jī),先說說后道光刻機(jī),讓大家高興一下。



在后道光刻機(jī)這地塊,其實(shí)國內(nèi)技術(shù)并不差,上海微電子在后道光刻機(jī)領(lǐng)域,拿下了全球37%的市場份額,在國內(nèi)更是拿下了85%的份額,比ASML厲害多了。


全球的封測企業(yè),很多都從上海微電子這里采購后道光刻機(jī),用于芯片封裝。


當(dāng)然后道光刻機(jī),門檻沒有前道光刻機(jī)那么高,難度也小一些,所以我們能夠有這么厲害。



再說前道光刻機(jī),這一塊就是ASML的天下了,ASML一家就占了全球80%以上的份額。


而前道光刻機(jī)又分為i線、G線、KrF、ArF、ArFi、EUV這么幾種,其中ArF是普通干式光刻機(jī),最高工藝支持到65nm,ArFi則是浸潤式光刻機(jī),最高支持工藝是7nm。


EUV是極紫外線光刻機(jī),用于7nm工藝以下。


目前全球只有ASML能夠制造EUV光刻機(jī)。ArFi光刻機(jī),全球只有ASML和尼康能夠制造。



如上圖所示,可以明顯看到在前道光刻機(jī)這一塊,4家主流玩家的工藝水平。


ASML處于王者地位,技術(shù)最牛,尼康差一些,達(dá)到了高端的水準(zhǔn),也就是ArFi。而上海微電子和佳能一樣,處于低端領(lǐng)域,還在90nm工藝階段。


當(dāng)然,也有網(wǎng)友表示,國內(nèi)水平不只是90nm,只是還沒有公開而已,那這個(gè)就見仁見智了,沒公開的我們就沒法去說了,只能用公開的數(shù)據(jù)來分析。



由此可見,整個(gè)光刻機(jī)領(lǐng)域,后道光刻機(jī),我們已經(jīng)處于領(lǐng)先水平,主要需要突破的是前道光刻機(jī),目前掌握的是ArF技術(shù),下一步是要突破ArFi技術(shù),也就是浸潤式技術(shù)。


至于什么時(shí)候突破,就得看上海微電子的了,期待早突破吧,目前雖然在90nm,但只要一步,突破了ArFi,就能達(dá)到7nm,那么美國的封鎖,直接就失敗了。