中商情報網(wǎng)訊：電子特氣有著芯片加工之“糧食”的稱號，主要用于集成電路、顯示面板、LED、光伏電池領(lǐng)域，貫穿晶圓加工的制備外延片、清洗、沉積和氧化成膜、光刻、刻蝕、摻雜各環(huán)節(jié)。當(dāng)前，電子特氣國產(chǎn)替代空間廣闊，國內(nèi)電子特氣龍頭或?qū)⑹芤嬗谙掠涡枨蠡嘏蛧a(chǎn)化率的提升。

一、電子特氣定義

電子特氣指的是工業(yè)氣體中附加值比較高的特殊用途氣體。與傳統(tǒng)工業(yè)氣體在純度和用途上有所區(qū)分。特種氣體的生產(chǎn)過程中涉及合成、純化、混合配制、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項工藝技術(shù)，流程較為復(fù)雜。

電子特種氣體是指應(yīng)用于電子行業(yè)的氣體，其質(zhì)量直接影響電子器件的成品率和性能。目前半導(dǎo)體行業(yè)各個環(huán)節(jié)使用的特種氣體有114種，常用的有44種。主要包含有三氟化氮、六氟化鎢、六氟丁二烯、氨氣等，一般采用液態(tài)與瓶裝氣體生產(chǎn)模式，廣泛應(yīng)用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等環(huán)節(jié)。電子特氣主要產(chǎn)品類別如下：

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

二、電子特氣行業(yè)發(fā)展政策

電子特種氣體作為關(guān)鍵性電子材料，近年來得到國家產(chǎn)業(yè)政策的大力支持。國家發(fā)改委、科技部、工信部、財政部、國家稅務(wù)總局等部門相繼出臺了《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2023年本，征求意見稿）》《原材料工業(yè)“三品”實施方案》《“十四五”原材料工業(yè)發(fā)展規(guī)劃》《關(guān)于“十四五”推動石化化工行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的指導(dǎo)意見》《重點新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄（2021年版）》等一系列產(chǎn)業(yè)支持政策，有力推動了電子特種氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。國內(nèi)氣體企業(yè)紛紛加大研發(fā)投入，不斷突破技術(shù)難關(guān)，逐步實現(xiàn)電子特種氣體產(chǎn)品的國產(chǎn)替代。具體政策如下：

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

三、電子特氣行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

1.電子特氣市場規(guī)模

電子特種氣體是半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵原材料，主要應(yīng)用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環(huán)節(jié)。近年來，中國電子特種氣體市場規(guī)模持續(xù)增長。中商產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2023-2028年中國電子特氣專題研究及發(fā)展前景預(yù)測評估報告》顯示，2022年電子特種氣體市場規(guī)模220.8億元。我國電子特氣市場規(guī)模的增長率明顯高于全球電子特氣增長率，未來有較大發(fā)展空間。預(yù)計2023年中國電子特氣市場規(guī)模逼近250億元，2024年市場規(guī)模將達262.5億元。

數(shù)據(jù)來源：SEMI、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

2.競爭格局

中國電子特氣行業(yè)發(fā)展時間較短，目前市場仍由早期進入市場的國外企業(yè)壟斷。數(shù)據(jù)顯示，中國電子特氣市場前四企業(yè)分別為美國空氣化工、德國林德集團、法國液化空氣、日本太陽日酸，占比分別為25%、23%、22%、16%。

目前，國內(nèi)電子特氣第一梯隊的廠商已經(jīng)具備規(guī)模生產(chǎn)能力，在細分領(lǐng)域產(chǎn)品具有一定優(yōu)勢，但和國外龍頭企業(yè)相比還有較大差距，國產(chǎn)替代空間巨大。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

3.重點企業(yè)分析

我國電子特氣行業(yè)經(jīng)過30年的發(fā)展和沉淀，通過不斷的經(jīng)驗積累和技術(shù)進步，業(yè)內(nèi)領(lǐng)先企業(yè)已在部分產(chǎn)品上實現(xiàn)突破，達到國際標(biāo)準(zhǔn)，逐步實現(xiàn)進口替代，特種氣體國產(chǎn)化具備了客觀條件。

華特氣體以高純六氟乙烷入手，已實現(xiàn)進口替代并規(guī)?；?yīng)產(chǎn)品高達50余種，數(shù)量在國內(nèi)特氣公司中居于領(lǐng)頭位置；中船特氣部分產(chǎn)品品質(zhì)已達到國際領(lǐng)先水平，是國內(nèi)首個進入5nm制程的電子特氣供應(yīng)商，旗下六氟化鎢、三氟化氮等產(chǎn)品以實現(xiàn)國產(chǎn)替代；南大光電成功實現(xiàn)了高純砷烷、磷烷等特種電子氣體的產(chǎn)業(yè)化，打破了國外技術(shù)封鎖和壟斷，同時氫類電子特氣在技術(shù)、品質(zhì)、產(chǎn)能和銷售各方面已躍居世界前列。

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

4.電子特氣企業(yè)注冊量

近年來，受益于集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展，電子特氣快速成長，相關(guān)企業(yè)大量涌現(xiàn)。數(shù)據(jù)顯示，2022年電子特氣相關(guān)企業(yè)注冊量快速增長，企業(yè)注冊量突破1萬家，同比增長22%。最新數(shù)據(jù)顯示，2023年1-10月電子特氣新增注冊企業(yè)11869家，同比增長32.7%。

數(shù)據(jù)來源：企查查、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

5.下游應(yīng)用情況

電子特種氣體主要用于集成電路、顯示面板、LED、光伏等領(lǐng)域。其中，集成電路占比最多，達43%。其次分別為顯示面板、LED、光伏，占比分別為21%、13%、6%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

四、電子特氣行業(yè)重點企業(yè)

1.華特氣體

廣東華特氣體股份有限公司是一家致力于特種氣體國產(chǎn)化，并率先打破極大規(guī)模集成電路、新型顯示面板、高端裝備制造、新能源等尖端領(lǐng)域氣體材料進口制約的民族氣體廠商。公司主營業(yè)務(wù)以特種氣體的研發(fā)生產(chǎn)及銷售為核心，輔以普通工業(yè)氣體和相關(guān)氣體設(shè)備與工程業(yè)務(wù)，提供氣體一站式綜合應(yīng)用解決方案，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、液晶面板、LED、光纖通信、光伏、醫(yī)療健康、節(jié)能環(huán)保、新材料、新能源、航天航空、高端裝備制造、食品、冶金、化工、機械制造、人工智能制造等眾多行業(yè)。

2023年前三季度，華特氣體實現(xiàn)營業(yè)收入11.29億元，同比下降19.51%；實現(xiàn)歸母凈利潤1.22億元，同比下降34.63%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

2022年華特氣體主營業(yè)務(wù)包括特種氣體、設(shè)備及工程、普通工業(yè)氣體，占比分別為73.33%、12.96%、12.21%。

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2.金宏氣體

金宏氣體股份有限公司是一家專業(yè)從事氣體研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)的環(huán)保集約型綜合氣體供應(yīng)商，主營業(yè)務(wù)可分為特種氣體、大宗氣體和燃氣三大類，氣體品種約100多種，公司主要產(chǎn)品應(yīng)用于集成電路、液晶面板、LED、光纖通信、光伏、醫(yī)療健康、節(jié)能環(huán)保、新材料、新能源、高端裝備制造、食品、冶金、化工、機械制造等眾多領(lǐng)域，其中在電子半導(dǎo)體領(lǐng)域，公司已逐步實現(xiàn)了超純氨、高純氧化亞氮、電子級正硅酸乙酯、高純二氧化碳等產(chǎn)品的進口替代。

2023年前三季度，金宏氣體實現(xiàn)營業(yè)收入17.8億元，同比增長23.87%；實現(xiàn)歸母凈利潤2.59億元，同比增長53.31%。

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2023年上半年，金宏氣體主營產(chǎn)品包括特種氣體、大宗氣體、燃氣，占比分別為48.61%、36.51%、8.49%。

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3.雅克科技

江蘇雅克科技股份有限公司主要致力于電子半導(dǎo)體材料，深冷復(fù)合材料以及塑料助劑材料研發(fā)和生產(chǎn)。公司電子材料業(yè)務(wù)產(chǎn)品種類豐富，主要包括半導(dǎo)體前驅(qū)體材料、光刻膠及配套試劑、電子特氣、硅微粉和半導(dǎo)體材料輸送系統(tǒng)（LDS）等。雅克科技的電子特氣業(yè)務(wù)主要通過全資子公司科美特進行，主要包括含氟類特種氣體的研發(fā)、生產(chǎn)、提純與銷售，主要產(chǎn)品為六氟化硫和四氟化碳。

2023年前三季度，雅克科技實現(xiàn)營業(yè)收入35.42億元，同比增長11.84%；實現(xiàn)歸母凈利潤4.81億元，同比增長3.73%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

2023年上半年，雅克科技的電子特種氣體業(yè)務(wù)實現(xiàn)營業(yè)收入2.03億元，占總營收的8.72%。

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4.南大光電

江蘇南大光電材料股份有限公司創(chuàng)辦于2000年，是從事先進電子材料生產(chǎn)、研發(fā)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)，形成前驅(qū)體材料、電子特氣和光刻膠三大核心業(yè)務(wù)布局。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于制備IC、LCD、LED、OLED、功率器件、半導(dǎo)體激光器等領(lǐng)域。其中，電子特氣板塊主要包括氫類電子特氣產(chǎn)品和含氟電子特氣產(chǎn)品。

2023年前三季度，南大光電實現(xiàn)營業(yè)收入12.81億元，同比增長1.70%；實現(xiàn)歸母凈利潤2.15億元，同比增長1.98%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

2023年上半年，南大光電主營產(chǎn)品包括特氣產(chǎn)品、Mo源產(chǎn)品，營收占比分別為74.68%、13.39%。

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5.凱美特氣

湖南凱美特氣體股份有限公司成立于1991年，是以石油化工尾氣火炬氣回收利用的專業(yè)環(huán)保企業(yè)。主要產(chǎn)品為高純食品級液體二氧化碳、液氧、液氮和液氬，廣泛應(yīng)用于飲料、冶金、食品、煙草、石油、農(nóng)業(yè)、化工、電子、萃取、冷鏈物流等多個領(lǐng)域。凱美特氣在鞏固二氧化碳氣體行業(yè)龍頭地位的基礎(chǔ)上，加速向全方位的電子特氣領(lǐng)域延伸，形成行業(yè)內(nèi)具有較大影響力的專業(yè)電子特氣和混配氣體研發(fā)及生產(chǎn)加工基地，聚焦電子特氣的研發(fā)生產(chǎn)。

2023年前三季度，凱美特氣實現(xiàn)營業(yè)收入4.19億元，同比下降23.20%。2023年上半年，凱美特氣主營產(chǎn)品包括二氧化碳、氫氣、燃料類產(chǎn)品、特種氣體、空分氣體，營收占比分別為33.44%、30.36%、25.46%、8.45%、2.01%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

五、電子特氣行業(yè)發(fā)展前景

1.政策利好行業(yè)發(fā)展

近年來，我國先后推出了一系列產(chǎn)業(yè)政策，對集成電路及其配套產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展予以重點推動支持，電子特種氣體也被列入了鼓勵發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，旨在推動包括特種氣體在內(nèi)的關(guān)鍵材料國產(chǎn)化，有力推動了電子特種氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

2.受益集成電路、顯示面板等產(chǎn)業(yè)發(fā)展，電子特氣有望快速成長

隨著我國經(jīng)濟由高速增長階段轉(zhuǎn)向高質(zhì)量發(fā)展階段，高端制造業(yè)成為國家重點鼓勵發(fā)展的方向，整體市場規(guī)?？焖僭鲩L。5G、人工智能、云計算等新一代信息技術(shù)的發(fā)展大幅增加了芯片、顯示面板等硬件的需求。近年來，國內(nèi)晶圓廠處于密集擴產(chǎn)的周期，進而帶動了相關(guān)的上游原材料需求強勁增長。由此，作為關(guān)鍵材料的電子特種氣體的市場需求還會進一步擴大，行業(yè)有望快速成長。

3.國產(chǎn)替代為國內(nèi)電子特種氣體企業(yè)帶來發(fā)展契機

電子特氣是半導(dǎo)體等高科技應(yīng)用領(lǐng)域和戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展不可缺少的基礎(chǔ)原材料，電子特氣的國產(chǎn)化將大幅降低中國芯片制造商的制造成本，提高中國芯片制造業(yè)的競爭力。目前，國內(nèi)電子特氣市場，特別是高端電子特種氣體國內(nèi)自給率非常低。因此，特種氣體尤其是電子特氣國產(chǎn)化已迫在眉睫。未來，龍頭企業(yè)不斷填補高端電子特種氣體領(lǐng)域的國內(nèi)空白，打破國外壟斷、逐步實現(xiàn)進口替代，行業(yè)成長空間可期。