華為投資的企業(yè),不需要光刻機(jī),用納米壓印技術(shù)造10nm芯片
眾所周知,目前的芯片制造技術(shù),均是以光刻技術(shù)為基礎(chǔ)的。
所有的晶圓廠制造芯片時(shí),均是先將電路圖,刻在光掩膜板上,然后再利用光刻機(jī)的光線去照射,最后把這些電路圖投影涂了光刻膠的硅晶圓上,形成電路圖。
光刻機(jī)是其中必不可少設(shè)備,且是單價(jià)最貴的設(shè)備,同時(shí)光刻工序耗時(shí)最長。
更重要的是,光刻機(jī)全球就只有4家,分別是ASML、尼康、佳能、上海微電子。而其中浸潤式光刻機(jī),只有尼康、ASML能制造,而EUV光刻機(jī)只有ASML能制造。
所以說ASML卡住了全球芯片廠商的脖子,所以大家也都在想另外的路線,如何繞開光刻機(jī),采用其它方法來制造芯片,改變這種格局。
經(jīng)過科學(xué)家們的研究,目前提出了很多方法,比如DSA自生長技術(shù),還有BLE電子束光刻技術(shù),還有X射線光刻技術(shù),還有NIL納米壓印技術(shù)。
其中NIL納米壓印技術(shù),被認(rèn)為是最有潛力,最能夠替代光刻的一種芯片制造技術(shù)。
光刻技術(shù)采用的是光線投影,而NIL納米壓印技術(shù),類似于蓋章一樣,先把電路圖刻在一個(gè)特殊的“印章”上,然后再將這個(gè)印章直接印到晶圓上,就形成了電路圖。
相比于光刻技術(shù),這種技術(shù)成本更低、工序簡單,更容易批量操作的特點(diǎn),所以被眾多廠商青睞,也被大家研究。
其中日本的佳能研究最深,申請(qǐng)的專利最多,還推出了相關(guān)的納米壓印技術(shù),目前也用于存儲(chǔ)芯片的制造。
納米壓印的難點(diǎn)是如何制造最高精度的“印章”,畢竟現(xiàn)在的芯片都是納米級(jí)的,要刻一個(gè)這樣的“印章”出來比較難,佳能的目標(biāo)是在2025年實(shí)現(xiàn)5nm芯片的制造。
而國內(nèi)也有在納米壓印技術(shù)上,表現(xiàn)出色的企業(yè),它就是華為哈勃投資青睞的天仁微納。
它成立于2015年,是一家微納加工設(shè)備和解決方案提供商,公司專注于納米加工領(lǐng)域,尤其是納米壓印技術(shù)。
目前天仁微納已經(jīng)研發(fā)出了多款高精度紫外納米壓印設(shè)備。據(jù)官網(wǎng)資料顯示,他們的納米壓印設(shè)備,已經(jīng)可以在150/300mm基底面積上實(shí)現(xiàn)高精度(優(yōu)于10nm ),也說是說實(shí)際精度已經(jīng)達(dá)到了10nm級(jí)別。
而目前這些設(shè)備,也用于DOE、AR/VR衍射光波導(dǎo)(包括斜齒光柵)、線光柵偏振、超透鏡、生物芯片、LED、微透鏡陣列等應(yīng)用領(lǐng)域的量產(chǎn)。
雖然說,目前這種設(shè)備,并沒有用于大家最為熟悉的邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片等,但相信也不太遠(yuǎn)了。
既然佳能能夠在2025年實(shí)現(xiàn)5nm工藝,想必天仁微納也不會(huì)太落后,你覺得呢?
而一旦國產(chǎn)廠商,能夠不用光刻機(jī),就實(shí)現(xiàn)10nm、甚至7nm、5nm的芯片制造,那么美國的芯片禁令就不攻自破了,再也限制不住了我們了。
所以讓我們拭目以待一下,看看國產(chǎn)納米壓印技術(shù),會(huì)不會(huì)比國產(chǎn)光刻機(jī)技術(shù),更早突破14nm、10nm等,這可是改變?nèi)蛐酒窬值拇笫隆?/span>
