“沒有濾波器的智能手機就會喪失通訊功能，變成一塊磚頭?！焙唵蔚囊痪湓挘瑸V波器的重要性可見一斑。然而就是這么一個單個芯片不到1平方毫米的小東西，全國每年200億顆的需求，90%以上卻要從國外進口，特別是高端的高頻濾波器芯片完全依賴進口，極易受制于人。

然而，這一局面正在發(fā)生轉(zhuǎn)變。河南科之誠第三代半導(dǎo)體碳基芯片有限公司已經(jīng)在高頻濾波器的研發(fā)上取得了突破性進展，預(yù)計將在新鄉(xiāng)進行量產(chǎn)。


中科院博士成功研發(fā)濾波器芯片

作為創(chuàng)新與競爭不斷升級的產(chǎn)業(yè)，智能手機集合了通信、芯片、先進制造、信息技術(shù)、數(shù)據(jù)安全、人工智能等多項高科技領(lǐng)域的核心技術(shù)。一部5G手機，在通信、WiFi、藍牙頻段要用到幾十個濾波器芯片，而這些芯片大部分需要從國外進口。

當(dāng)前，在外部壓力不斷加大背景下，芯片作為手機科技的制高點，小米、華為、vivo、OPPO等手機制造企業(yè)紛紛投入重金布局，以實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。

基于此，曾在多家知名企業(yè)及機構(gòu)工作過并有著豐富研發(fā)經(jīng)驗的謝波瑋博士，2017年創(chuàng)辦科之誠，并帶領(lǐng)研發(fā)團隊通過多年的研究，提出了全新的金剛石基+氮化鋁材料體系及螺旋型IDT濾波器架構(gòu)。近日，由該公司研發(fā)的金剛石基2Ghz-10GHz高頻射頻濾波器，已經(jīng)完成核心技術(shù)攻關(guān)，預(yù)計量產(chǎn)后將推動濾波器芯片價格大幅下降。

“2022年全年，中國國內(nèi)市場手機總體出貨量累計2.72億部。其中，5G手機出貨量2.14億部。因此，濾波器芯片有著龐大的市場空間。”謝波瑋說。


國產(chǎn)高頻濾波器從無到有

濾波器的作用可以比喻為在嘈雜的菜市場內(nèi)過濾掉其他雜音，只聽到我們想聽到的聲音。在現(xiàn)實生活中，我們周圍的電磁波充斥著各種不同頻段，而濾波器則相當(dāng)于對頻段進行選擇。在通訊領(lǐng)域，濾波器是射頻前端的核心部件之一，它可以幫助我們建立穩(wěn)定的通訊，使我們在不同的通訊應(yīng)用中保持暢通。

在過去的幾年中，由于材料和專利的限制，我國在濾波器領(lǐng)域的發(fā)展受到了很大的制約。一方面，國內(nèi)無法大規(guī)模生產(chǎn)制造濾波器芯片的材料——高品質(zhì)電子級鈮酸鋰、鉭酸鋰單晶；另一方面，國外長期的發(fā)展已經(jīng)形成了明確的專利壁壘。然而，謝博士和他的團隊通過與中國科學(xué)院電工研究所聯(lián)合攻關(guān)，最終推出了高頻金剛石基射頻濾波器產(chǎn)品，打破了國外在高頻濾波器領(lǐng)域的壟斷。

河南科之誠之所以選擇在新鄉(xiāng)進行轉(zhuǎn)化，是因為新鄉(xiāng)擁有得天獨厚的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)和政策支持力度。河南省作為全國超硬材料產(chǎn)量最大的省份，占全球的70%以上，已經(jīng)在全國和全球創(chuàng)下了多項“第一”，形成了以超硬材料及制品為核心、原輔材料和專用設(shè)備儀器為基礎(chǔ)、公共技術(shù)服務(wù)體系為支撐的全產(chǎn)業(yè)鏈格局。

謝波瑋介紹，河南是超硬材料大省，金剛石產(chǎn)量占到全球90%以上。近年來，河南省不斷推進金剛石應(yīng)用領(lǐng)域創(chuàng)新。由科之誠研發(fā)的濾波器芯片從中科院到河南落地，為金剛石產(chǎn)業(yè)在聲光電領(lǐng)域的應(yīng)用探索出一個重要方向，將有力推動河南超硬材料產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。此外，近年來河南省不斷推進金剛石應(yīng)用領(lǐng)域創(chuàng)新，為科之誠在該地區(qū)設(shè)立公司提供了強有力的支持。

這項技術(shù)的突破對我國的通訊行業(yè)將產(chǎn)生深遠的影響。首先，國產(chǎn)高頻濾波器的量產(chǎn)將大大降低我國對進口濾波器的依賴程度，提高我國的科技獨立性。其次，高頻濾波器的國產(chǎn)化將有望推動濾波器芯片價格大幅下降，提高我國科技產(chǎn)品的競爭力。


低成本促成濾波器產(chǎn)業(yè)化

按技術(shù)路線劃分，目前市場上主流的濾波器有兩種：聲表面波濾波器、體聲波濾波器。

在2Ghz以下的低頻濾波器中，由于成本適中，性能較好，聲表面波濾波器應(yīng)用廣泛，占據(jù)著最大的市場份額。但如果超過了2Ghz，就必須采用體聲波濾波器的技術(shù)，其各項性能指標(biāo)更加優(yōu)異，但也因制作工藝復(fù)雜，成本水漲船高，單個體聲波濾波器芯片的平均成本在10元左右，部分產(chǎn)品的市場價格在20元以上。

一項技術(shù)成果適不適合產(chǎn)業(yè)化，能否被市場接受，關(guān)鍵就在于成本?！拔覀冞@項技術(shù)創(chuàng)新最大的亮點，不僅在于打破國外高頻濾波器的技術(shù)壟斷，更難得的是通過材料創(chuàng)新，實現(xiàn)了以更低成本的聲表面波工藝，生產(chǎn)過去只有體聲波濾波器才能達到的高頻性能，可謂是物美價廉?！敝x波瑋說。

事實上，用金剛石晶片制造濾波器芯片早有前人嘗試，雖然產(chǎn)品性能非常好，但單顆芯片成本將會在1000元往上，成本太高，此前只在軍工等特殊產(chǎn)業(yè)上有所應(yīng)用。既然完全用金剛石造芯片難以被市場接受，只用一部分行不行？科之誠的思路是，不完全采用金剛石作為基礎(chǔ)材料，而是依然以硅基晶圓片為支撐層，將金剛石以薄膜的形式生長在上面，作為功能層再進行電路設(shè)計。

在實際攻關(guān)中，該公司突破了“大面積、高平整度金剛石薄膜沉積”“氮化鋁多元素共摻雜、高平整度C軸擇優(yōu)取向薄膜”等技術(shù)難點，最終將設(shè)想變?yōu)榱爽F(xiàn)實。由于新技術(shù)使用的金剛石薄膜只有10微米，用料足夠少。一塊芯片的金剛石使用成本從以前的1000元降到了現(xiàn)在的0.1元，已可以進行規(guī)?；a(chǎn)。

目前，科之誠已經(jīng)申請了多項專利，掌握了2英寸-6英寸硅基金剛石薄膜制備工藝、2英寸-6英寸取向壓電薄膜制備工藝和金剛石基射頻濾波器芯片的設(shè)計、半導(dǎo)體工藝、封裝、檢測技術(shù)，并完成全工藝流片驗證，這標(biāo)志著核心技術(shù)攻關(guān)已經(jīng)完成。

按照目前的生產(chǎn)工藝，科之誠最終將高頻濾波器芯片的成本控制在了6毛錢左右，這一價格較目前市場上的體聲波濾波器芯片20元的價格擁有著巨大的優(yōu)勢?！岸译S著產(chǎn)業(yè)化水平的提高，這一價格還有不小的下降空間?！睋?jù)謝波瑋介紹，目前2GHz以上的高頻濾波器的市場規(guī)模在300億元以上，將來進入6G通訊時代，市場規(guī)模將進一步擴大。據(jù)悉，科之誠已經(jīng)完成首批3000萬元的融資，正在加緊推動產(chǎn)品早日問世。

“公司計劃投資9.6億元，分三期建設(shè)金剛石基濾波器芯片產(chǎn)業(yè)化項目?！敝x波瑋說。初期階段，科之誠計劃投資6000萬元，推出行業(yè)對標(biāo)產(chǎn)品，實現(xiàn)金剛石基高頻濾波器大規(guī)模量產(chǎn)?！爸衅陔A段，計劃投資3億元，建設(shè)硅基金剛石、AIN多層膜晶圓線，并用代工方式生產(chǎn)芯片，同時啟動科創(chuàng)板上市。”謝波瑋說。后期階段，計劃投資6億元，建設(shè)濾波器芯片全工藝流程IDM線，打造第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。

總的來說，河南科之誠的這一突破是我國在濾波器領(lǐng)域的一個重要里程碑。它不僅打破了國外對高頻濾波器的壟斷，而且為我國的科技事業(yè)注入了新的活力。在新鄉(xiāng)進行量產(chǎn)的高頻濾波器，將成為我國科技發(fā)展的一個新的基石。我們期待著這一科技成果能在未來為我國科技事業(yè)帶來更多的驚喜和突破。