實話實說,除了ASML,全球很難再有企業(yè)研發(fā)出EUV光刻機
在光刻機領(lǐng)域,ASML一家占了全球近80%的份額。
而在EUV領(lǐng)域,ASML一家占了100%的份額,在DUV光刻機中的浸潤式光刻機中,ASML一家占了90%+以上的份額。
可以說,高端光刻機是ASML的天下,其中EUV光刻機更是ASML的獨家生意。
這可能就讓人納悶了,目前EUV光刻機這么搶手,intel、三星、臺積電、美光、SK海力士等都在搶EUV光刻機,ASML的產(chǎn)能也不大,EUV光刻機是一機難求。
但為何像尼康、佳能等其它光刻機廠商,基本上都不去碰EUV光刻機呢?大家都想要進入EUV光刻機這樣的先進領(lǐng)域,但都不是EUV的方向,更多的還是選擇另外的方向,比如NEL電子束、DSA自生成技術(shù)、NIL納米壓印等,都與EUV方向不一樣。
其實很簡單,那就是除了ASML之外,全球很難再有企業(yè),能夠研發(fā)出EUV光刻機,它不僅僅是技術(shù)上的問題,更是商業(yè)上的問題。
ASML的EUV光刻機,并不是ASML獨立造出來的,ASML曾說過,自己最多只生產(chǎn)其中15%的核心部件,另外的85%是全球供應(yīng)鏈提供的。
從技術(shù)方面來看,ASML已經(jīng)拉攏了德國蔡司、美國企業(yè)Cymer,再與德國TRUMPF公司,從光源、物鏡、工作臺等方面,形成了技術(shù)共同體,大家要獲得這個技術(shù)很難。
更難的是從商業(yè)上面,ASML與下游的晶圓廠是一體的,比如臺積電、intel、三星等是ASML的股東,大家一起合作共同開發(fā)EUV光刻機,大家捆在一起,利益共享。
而EUV的市場本身其實并不大,別看它這么搶手,但基于高端芯片市場的需求,EUV光刻機的市場規(guī)模,也就只能養(yǎng)活一家ASML這樣的廠商,再多一家都困難。
所以其它任何一家廠商,就算研發(fā)出了EUV光刻機,最終雙方都可能活不下來,要打價格戰(zhàn),打死另外一家,才能夠活下來。
這種價格戰(zhàn),其實是不利于整個行業(yè)的,所以像臺積電、三星、intel這樣的廠商,還有EUV光刻機整個產(chǎn)業(yè)鏈的廠商,都不會愿意看到這樣的情況,到時候是幾敗俱傷,沒有贏家。
所以另外的廠商,也明白這個道理,基本不會去從EUV領(lǐng)域入手,去搶ASML的市場,因為基本上不會成功。而ASML也明白這個道理,所以也不會亂定價,會定一個大家接受,且相對合理的價格,維持整個產(chǎn)業(yè)鏈的平衡,讓大家真正捆在一起,不給其它廠商機會。
所以,這也是目前為何其它光刻機廠商,就算想進入先進制程,也不會從EUV入手的原因,而是選擇另外方向,因為另外方向上,ASML沒有與上、下游、以及整個產(chǎn)業(yè)鏈形成捆綁,這樣才有機會。
至于中國廠商,會不會從EUV光刻機入手?現(xiàn)在討論這個還太早了,國產(chǎn)光刻機還處于90nm階段,先邁進浸潤式階段再說,等掌握了浸潤式,再來考慮EUV,路還是要一步一步慢慢走才行。
