都說中國模仿能力強(qiáng),為何ASML的光刻機(jī),無法拆了來模仿?
眾所周知,目前卡住中國芯片產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵設(shè)備是光刻機(jī)。只要光刻機(jī)突破,擁有自己的浸潤式光刻機(jī),以及EUV光刻機(jī),芯片產(chǎn)業(yè)的脖子就沒有了,美國就卡不住了。
而近日ASML對(duì)光刻機(jī)出口進(jìn)行了補(bǔ)充說明,TWINSCAN NXT:2000i及之后的浸沒式光刻機(jī)不能出口,浸潤式光刻機(jī),只能出口比較落后的TWINSCAN NXT:1950i
很多人表示,把這臺(tái)光刻機(jī)買回來,然后拆了研究,再模仿出來,以后就能夠自己生產(chǎn)浸潤式光刻機(jī),不需要ASML了。
那么問題就來了,大家都說中國的模仿能力強(qiáng),ASML的光刻機(jī),我們能模仿出來么?
事實(shí)上,之前網(wǎng)上就流傳一句話,那就是給你們?nèi)坠饪虣C(jī)的圖紙,中國也制造不出光刻機(jī)來,意思就是光刻機(jī),不是看了圖紙,或者知道原理就能造出來的。
要是真能夠模仿,估計(jì)國內(nèi)早就有了浸潤式光刻機(jī)了,甚至連EUV光刻機(jī)都有了。
原因在于ASML的光刻機(jī),需要大量的核心元件,這些元件,是模仿不出來的,而國外廠商也不賣給你,我們制造不出來,所以高端光刻機(jī),我們制造不出來。
光刻機(jī)有三大核心部分,一是光源,二是物鏡系統(tǒng),三是工作臺(tái)。
就拿浸潤式光刻機(jī)來說,光源這一塊,需要193nm的紫外線光源,這一塊我們能夠搞定,工作臺(tái)方面,我們也算是能夠搞定,最多品質(zhì)差一點(diǎn)點(diǎn),精度差一點(diǎn)點(diǎn)。
但是物鏡系統(tǒng)這一塊,國內(nèi)搞不定。物鏡系統(tǒng)是光刻機(jī)中最昂貴的部分,浸沒式光刻物鏡異常復(fù)雜,涵蓋了光學(xué)、機(jī)械、計(jì)算機(jī)、電子學(xué)等多個(gè)學(xué)科領(lǐng)域最前沿。
目前全球只有一家廠商有這個(gè)技術(shù),那就是德國的蔡司公司,不過它的技術(shù)不能賣給中國,是受限制的。
所以,就算我們知道光刻機(jī)原理,甚至拿到圖紙,還有ASML的實(shí)物光刻機(jī),拆了又拆,也制造不出物鏡系統(tǒng)來,因?yàn)檫@是全球最頂尖的光學(xué)技術(shù),我們沒有。
所以,很多高精尖的東西,并不是模仿就能夠模仿出來的,能夠模仿的,都是沒有太多科技含量,沒有什么門檻的東西,作為全球最精密的儀器--光刻機(jī),要是能這么好模仿,那就卡不住脖子了。
