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EUV光刻機(jī)3大核心:2大來(lái)自德國(guó),1大來(lái)自美國(guó),ASML負(fù)責(zé)組裝

2023-02-10 來(lái)源: 互聯(lián)網(wǎng)亂侃秀
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關(guān)鍵詞: 光刻機(jī) ASML SMIC

眾所周知,在芯片領(lǐng)域有一種特別重要,特別受關(guān)注,同時(shí)中國(guó)技術(shù)又相對(duì)落后的設(shè)備,那就是光刻機(jī),芯片制造必不可少的設(shè)備之一。

特別是EUV光刻機(jī),目前全球僅ASML一家能夠制造,很多人稱EUV光刻機(jī)是人類建造的最復(fù)雜的機(jī)器之一,所以ASML也被很多人奉上“神壇”,甚至還傳出“給你全套圖紙,你也造不出光刻機(jī)”的說(shuō)法。

但要我說(shuō),ASML其實(shí)也只是一個(gè)組裝廠,它是整合全球的供應(yīng)鏈,最后將什么EUV光刻機(jī)組裝了出來(lái),你會(huì)怎么想?

EUV光刻機(jī)的原理是什么?說(shuō)起來(lái)超級(jí)簡(jiǎn)單,就是激光器激發(fā)出13.5nm波長(zhǎng)的極紫外線,然后經(jīng)過(guò)矯正后形成一束可控的光,再用能量控制器,將這一束光投射到光掩膜臺(tái)后,再經(jīng)過(guò)物鏡投射到曝光臺(tái),最后在涂了光刻膠的硅晶圓上蝕刻出電路。

一臺(tái)EUV光刻機(jī)有三項(xiàng)核心技術(shù),分別是頂級(jí)的光源(激光系統(tǒng))、高精度的鏡頭(物鏡系統(tǒng))、精密儀器制造技術(shù)(工作臺(tái))。

激光系統(tǒng)就是產(chǎn)生極紫外線的系統(tǒng),這項(xiàng)技術(shù)來(lái)源于美國(guó)企業(yè)Cymer,2012年被ASML收購(gòu)了。

高精度的鏡頭,也就是將激光進(jìn)行收集成束,以及物鏡系統(tǒng),這一塊的技術(shù)來(lái)源德國(guó)的蔡司,蔡司拿出了全世界最平表現(xiàn)的元件,那就是分布式布拉格反射器。

第三項(xiàng)核心技術(shù),也就是精密儀器制造技術(shù),也來(lái)自于德國(guó),甚至連核心一中的整體打包方案都是德國(guó)TRUMPF公司提供的。

按照媒體的說(shuō)法,一臺(tái)EUV光刻機(jī)中,超過(guò)10萬(wàn)個(gè)零件,其中ASML只掌握了不到10%的核心技術(shù),另外的90%全靠ASML全球去整合資源,甚至需要全球進(jìn)口。

ASML最大的能力是了解客戶需求,整合供應(yīng)鏈,最后把光刻機(jī)組裝出來(lái),這一特質(zhì),在當(dāng)時(shí)ASML與臺(tái)積電合作,全球首造浸潤(rùn)式光刻機(jī)時(shí)就注定了的。

當(dāng)時(shí),尼康、佳能是光刻機(jī)大哥,ASML只是小廠,臺(tái)積電提出可以用水做介質(zhì),尼康、佳能傲慢自大,認(rèn)為這是個(gè)餿主意,而ASML是小廠,看不到希望,干脆搏一搏,說(shuō)不定單車變摩托,最后這一搏,搏出來(lái)了ASML的未來(lái)。

所以ASML嘗到了甜頭后,認(rèn)清了現(xiàn)實(shí),那就是自己最重要的就是看各大晶圓廠需要什么樣的東西,然后再全球找供應(yīng)鏈,再和客戶一起研究試驗(yàn),把客戶需要的東西組裝出來(lái)。

而不是自己苦哈哈的埋頭做研究,最后發(fā)現(xiàn)這研究出來(lái)的玩意,客戶不需要,那才是研發(fā)的失敗,這是ASML的長(zhǎng)處,也是芯片行業(yè)的叢林法則,那就是攢局,將各大利集團(tuán)捆綁在一起,才是核心。