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- 韓企研發(fā)出石墨烯EUV光罩保護(hù)膜,能大幅度提高5nm芯片良率
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- 光罩產(chǎn)業(yè)國(guó)產(chǎn)化趨勢(shì)勢(shì)不可擋,本土光罩廠正在興起
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